太阳能电池量子效率测试系统

台阶仪

高纯、去离子水处理装置

扩散炉及自动控制系统

等离子反应刻蚀

团簇式多功能真空镀膜系统（含PECVD、磁控溅射、热蒸发）

链式快速烧结隧道炉

HS-M2单次闪光大面积太阳模拟器

HWCVD设备

PECVD 氮化硅薄膜沉积设备

离子束喷溅装置

电池组件电致发光（ EL ）成像系统